1、如果精密行星減速機的表面淬火的淬火層包含齒根底部，則其效果較好。 表面淬火的常用材料是碳質量分數約為0.35%~0.5%的鋼材，齒面硬度可達45~55hrc。

2、滲碳淬火滲碳淬火齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工藝(刷牙)消除熱處理變形，確保精度。 滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度始終在58~62hrc的范圍內。 低于57hrc時，牙面強度顯著降低，超過62hrc時脆性增加。 輪齒心部硬度一般優選為310~330hbw。 滲碳淬火齒輪的硬度應從齒表面到深層逐漸降低，有效滲碳深度應從表面到深層逐漸降低，有效滲碳深度應從表面到硬度52.5hrc。 滲碳淬火在牙齒彎曲疲勞強度中的作用，除了提高心部硬度外，還有表面殘馀壓應力，能減少牙齒大張應力區的應力。 因此，磨牙時不能磨牙的根部，切牙時必須使用剩馀量的滾刀。

3 .精密行星減速機的氮化通過采用氮化，在齒的變形小的條件下能夠保證高的齒面硬度和耐磨損性，即使熱處理后不進行后續的精加工，也能夠提高負荷能力。 這對于難以刷牙的內齒輪來說有著特別的意義。

4 .精密行星減速機嚙合的齒輪的硬度組合大、小齒輪都是軟齒面的情況下，小齒輪的齒面硬度必須比大齒輪高。 另一方面，兩輪在硬齒面硬度都高的情況下，采用與兩輪相同的硬度。 所選行星齒輪減速機的材料有助于提高高精密行星減速機的承載力和壽命。